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​精密蚀刻的精度和侧蚀

文章出处:行业资讯 责任编辑:东莞市维六达机械设备有限公司 发表时间:2022-08-17
  ​精密蚀刻的精度和侧蚀

精密蚀刻的过程中,除了不做任何防腐处理的整体蚀刻法,一定要注意防腐层下蚀刻的“蔓延”问题,也就是通常所说的侧面蚀刻。侧蚀的大小直接关系到图文的准确性和蚀刻线条的极限尺寸。通常,抗蚀剂层下水平方向上的蚀刻宽度A被称为侧蚀刻量,侧蚀刻量A与蚀刻深度H的比值是侧蚀刻速率F:


​精密蚀刻的精度和侧蚀

​精密蚀刻的精度和侧蚀​


F=A/H

式中:A为侧蚀刻量(mm),H为精密蚀刻深度(mm);F为侧蚀刻率或腐蚀因素;f是侧蚀率或腐蚀因子,用来表示不同条件下侧蚀量与腐蚀深度的关系。

上述arc R受蚀刻深度、蚀刻窗口的最小宽度与蚀刻深度的比率、蚀刻溶液的成分、蚀刻方法和材料类型的影响很大。侧面蚀刻的量决定了化学蚀刻的精度。侧蚀量越小,加工精度越高,适用范围越广。反之,加工精度低,应用范围小。

侧蚀量主要受金属材料的影响。在几种常用的金属材料中,铜的侧蚀最小,铝的侧蚀最大。选择较好的腐蚀剂,虽然腐蚀速度不明显,但可以改善金属精密蚀刻的侧蚀。
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